产品详情

系统采用直线电机执行器和空气弹簧进行主动隔振，适用于精密仪器设备的隔振，可将影响仪器设备正常工作的安装场地的细微振动，在所有频率范围内予以全面衰 减而不降低仪器设备本身具有的各项性能。它可以抑制振动干扰，使ORION NanoFab保持高分辨率。

技术规格

商品                      描述

尺寸                      1300（W）×1600（D）×182（H，放气位置）mm

重量                      1100Kg

隔离机制（1）        6活动自由度

隔离机构（2）        直线电机执行器的主动隔离

所需气压                0.6MPa及以上

负载重量（最大）   2000Kg（均匀负载）

电源                      100-240VAC

电源频率                50 / 60Hz

功耗（最大）          380W

隔离起始频率          0.5Hz

应用实例