产品详情

Tergeo-EM是一台集等离子清洗，蚀刻及表面处理系统于一体的实验仪器。

技术规格

1.集等离子高速清洗和等离子无损清洗于一体的清洗模式。

2.配置等离子传感器可实时测量等离子强度。

3.可达毫秒级短脉冲的脉冲工作模式。

4.实验室等离子蚀刻，处理及清洁系统一体化。

5.拥有超大样品室可成批处理样品。石英管型号：外径 110mm, 长：280mm，配有一个矩形石英样品盘（100mmx250mm）可以托住成批样品。

6.双 TEM 样品杆插口，可（根据客户需求）装配成两种不同型号 TEM 样品杆插口。

产品外观

应用实例